霍克蓄电池二氧化硅钝化层的制备工艺

霍克蓄电池二氧化硅钝化层的制备工艺
在多晶硅太阳能电池技术范畴，特别触及一种多晶硅太阳能电池用二氧化硅钝化层的制备工艺。采用钝化反响促进液阿拉伯胶对硅片外表停止预处置，使硅片钝化水平更为平均、更为可控，契合清洁、无污染操作工艺。
　　技术引见
　霍克蓄电池是一种半导体器件，可以将太阳的光能转换成热能，由于工作时无需水、油、燃料等资源，只需求有光就能发电，因而被称为当代清洁、无污染的可再生资源，而且装置维护简单，运用寿命长、能够完成无人值守，在各范畴越来越得到普遍的应用。多晶硅太阳能电池由于存在大量外表缺陷，影响了电池性能，为了取得较高的光电转换效率，都需求对电池外表停止二氧化硅钝化工艺，钝化层的作用能够概括为：钝化太阳能电池正面，使光生载流子在该界面处的复合速率减小；减小光的反射。但是由于太阳能电池的硅片与氧气在钝化反响时，钝化温度较高，因而反响后的硅片外表钝化水平常常不好控制，影响电池的性能。
　　详细操作为：霍克蓄电池二氧化硅钝化层的制备工艺
　　(1)将钝化反响促进液平均涂刷在扩散后的硅片外表，并低温烘干，其中，钝化反响促进液为阿拉伯胶以45～70g/L的质量浓度溶于去离子水所构成的溶液，涂刷后的烘干温度为60～80℃；
　　(2)将经过步骤处置的硅片置于高温环境下，并同时通入氮气和氧气的混合气体对硅片停止氧化，高温环境的温度为700～800℃，氮气和氧气的体积比为1～15：1，通入氮气和氧气的时间为10～30分钟；
　　(3)完成步骤的氧化后，中止通氧，在氮气氛围下将环境温度降至退火温度停止退火处置，冷却，其中，退火温度为300～400℃，退火处置，冷却。
霍克蓄电池二氧化硅钝化层的制备工艺